О продукции

Низковольтное оборудование: установка плазмохимического травления фоторезиста в индуктивно связанной плазме модель: uvn virgo-a, с/н virgo219

Декларация о соответствии распространяется на серийно выпускаемую продукцию, изготовленную с 07.2025 года (дата изготовления отобранных образцов (проб) продукции, прошедших исследования (испытания) и измерения).

Модель

Uvn virgo-a, с/н virgo219

Тип

Установка плазмохимического травления фоторезиста в индуктивно связанной плазме

Условия хранения

Гост 12.2.007.0-75 "система стандартов безопасности труда (ссбт). изделия электротехнические. общие требования безопасности"; требования и методы испытаний" гост 12.2.003-91 "система безопасности труда. оборудование производственное. общие требования безопасности».

О документе

Дата регистрации

07 ноября 2025

Дата завершения

06 ноября 2030

Статус

Действует

Тип объекта

Серийный выпуск

Схема

1д

Источник

ФГИС РосАккредитации

Выписка

Скачать официальную выписку (PDF)

Регламенты

ТН ВЭД

  • 8486 20 900 3 Машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем установки для удаления фоторезиста или очистки полупроводниковых пластин

Группы продукции

Производитель

Полное название

SHANGHAI METHOD OF CLEAN MATERIALS CO, LTD

Страна

Китай

Адрес

Китай, 1st Floor, No. 1 Yewang Highway, Yexie Town, Songjiang District, Shanghai, 31.195592313254124, 121.56098953608718

Заявитель

Полное название

ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "УВН"

Страна

Россия

Адрес

111024, г Москва, р-н Лефортово, ул Авиамоторная, д 53 к 25, ком 4

Должность

ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР

Руководитель

Миляев Данила Вячеславович

Лаборатории

Полное название

ООО "НЕЗАВИСИМЫЙ ИНСТИТУТ ЭКСПЕРТИЗЫ И СЕРТИФИКАЦИИ". Аттестат аккредитации No РОСС RU.31112.21ПР72

Номер записи в РАЛ

RU.31112.21ПР72